產(chǎn)品簡介：隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步以及半導(dǎo)體激光器在通信、信息處理等領(lǐng)域的應(yīng)用日益活躍，制造過程中使用的特種氣體種類和數(shù)量不斷增加。本系統(tǒng)采用氣相色譜法，可自動(dòng)檢測半導(dǎo)體材料氣體中痕量雜質(zhì)及組分含量。
產(chǎn)品型號：
更新時(shí)間：2025-11-27
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問 量 ：69
021-61434006
產(chǎn)品分類
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可測量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。
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